半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体器件中档测封搭配涉重废渣——MVR立即循坏零排活动
的项目原型
半导高档次首测业务,规模化150万立方/天,是第一个半导首测配套工程涉重废渣零排业务。首测教学环节的镀镍、镀铜、引线前端框架进行维护清洁会产生含镍含铜废渣,项目特殊要求"无尾水外排",产水全部都回收于产线。
环境质量表现与重难点
废水正确处理工艺以含镍主导(溶液浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH价格波动大(2–12),还会有光刻胶残余的的一定量有机酸物。公测厂活动场地紧,想要正确处理配套设施征占小;零排寓意着浓水不清运多少,必要地方减压蒸馏晶体前馈。
工作施工工艺的路线
整个走"分质获取 → 预净化处理除杂 → 有机化学水解除镍 → 过滤程序 → UF+两极RO → MVR强迫配置蒸发掉 → 冷却水水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢混炼钠添加Ni(OH)₂悠长岁月中,加个混炼钠淬硬层收集稳定度镍(混炼镍Ksp比氢混炼镍更小,能让镍压到0.1毫克/升接下来);
沉淀自己溢水经多有机溶剂活性炭过滤系统+安全活性炭过滤系统后进UF,再进一級RO,产水直接性回产线的洗涤;
RO浓水(含盐+残留天价属)进MVR强制性要求性要求嵌套循环往复真空泵掉器,强制性要求性要求嵌套循环往复能扛高含盐结渣,真空泵掉器自身带有优酷云擦洗,后易堵;
MVR冷疑水赶回到造纸废水处理水槽,减压蒸馏残液委外焚化或身为危废处理处治,全车间无液态氨外排。
重中之重设施缺点情况说明
MVR立即间歇相对高级降膜化掉,间歇气速高、换热面不可结镍盐/碳酸盐垢,适用于测封各种"供水量面积不大但饮用水质杂"的情境;分离式化撬装设计占地面比普通化掉塘+多效化掉方案怎么写小60%综上所述;有害气体侧模块化海洋生物滤池,把调准池和污泥干化间的有害气体汇集后光降解成CO₂和水,解决测封厂紧临辦公区的臭味投诉举报。
办理作用与效果
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,好于《电镀锌影响物摆放规范》表三;全150立米米/天产水工业废水处理于测封产线清晰,混用等量鲜活水;危险废物(挥发残液+淤泥)量比传统性"沉淀物中+摆放"的模式减约70%。对富士康侧,测封大型项目节能环保审批卡点挨打通;