某半导体行业研发机构因晶圆难以清理制作工艺呈现含氨污废水 ,蓄水量200吨/天。污废水 中除氯离子外还有氟化物和氢化物发生器天价属,正确处理难易度大。本地人尾气排放条件条件标准要求氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污水含量及来历
晶圆洗涤废水处理方法(基本收入):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工序电镀废水:含进样器铜、镍等天价属,pH值上下波动大
CMP研磨抛光废水处理方法:含硅颗粒状及氯离子
处置生产鑫霖环保图
通过"生物学奠定+膜剥离+折点氯化"乐队组合施工工艺:
预操作
:加药系统CaCl2除氟,抑制pH在7.5-8.
反渗透装置模式
:除掉0.01μm以内小粒物
反参透浸提
:将氯离子溶缩至1000mg/L大于
折点氯化
:透彻调节氯添加量,将化学需氧量流量转化为氢气
亚铁离子置换
:保驾护航血本属达到标准
结果英文郊果
氧化还原电位可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属占比降至在线检测限
水中水回用率达75%
活性污泥形成量避免40%