某半导体材料处里芯片创造厂在晶圆手工加工的过程 中,食用硅烷去硅外延性生長,汽车尾气洗滌塔诞生高溶液浓度含硅废渣。废渣兼备pH浮动大(2-11)、硅量高的共同点,一般处里具体方法易显现硅垢拥堵方面。
焦化废水组分及的来源
废水处理工艺关键组分为:
融化性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢钝化钠
:洗洁塔腐蚀性洗洁液杂质
颗粒物硅
:nm级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:原辅料钙镁离子带到
除理艺具体步骤
去创新通过"二级与+膜滤出+挥发晶体"工艺设计:
特级与
:用CaO调结pH至4-5,提取硅酸钙发展,硅祛除率60%。
三级中合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进步积淀剩的硅,串连用镁剂除砷。
反渗透膜整体
:0.02μm陶瓷厂家膜油烟净化器纳米技术级硅粒子,通量不稳在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:果汁高盐废水处理,晶体出Na₂SO₄副企业产品,水工业废水处理率超90%。
终极实际效果
总硅从1500mg/L降落到5mg/L一下
砷浓度从0.8mg/L降为0.01mg/L
系統无水垢运营高出2年
去年收集磷酸钠硫化锌约800吨