该厂为89英寸晶圆生产制造线配套设施的超软水模式,天天存在含硅化工废水150吨。化工废水下虽无巨资属,但硅水分含量高易积垢,且阻值率需可达18MΩ·cm功能化学工业废水解决。改变解决新工艺始终无法做到新颁布实施的《电商化学工业水污染源物排出规则》(GB39731-2020)特别排出最大限度。
焦化废水营养成分优点和缺点
最主要废弃物物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒度分布0.1-1μm)
非常规请求
:TOC<10μg/L,硼含量的<5μg/L
污水水质性状
:低电阻率(<50μS/cm)但硅有机化合物体型更复杂
处理新工艺步骤流程
自主创新用于"梯级膜剥离+电去化合物"搭配组合工序:
微滤预处里
:1μm瓷砖膜屏蔽广告大颗粒物硅,通量稳定80LMH
铁离子调换树脂胶
:D201大孔硅橡胶确定性吸硅酸大分子
三级RO系统软件
:第一点段利用率60%,第二步段用于高脱硼膜元器件
EDI电去铝离子
:电流值密度计算2A/m²,不断出掉残余物化合物
UV紫外线除臭
:254nm太阳光的UV线用量40mJ/cm²
技术应用工作亮点
发掘专业化阻硅剂(有机质胺类黏结物),廷迟膜生态破坏期限3倍
EDI信息模块特色化流道设计,硅彻底清除率加快至99.8%
线上硅深入测试仪(在测量空间0.1-500μg/L)完成精确管控
加载举措
经再次方在线检测:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼份量从8μg/L降落到0.3μg/L
设备回笼率从原40%改善至68%
膜撤换期限缩短至5年,年运转成本费降35%