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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆生产制造线配套设施的超软水模式,天天存在含硅化工废水150吨。化工废水下虽无巨资属,但硅水分含量高易积垢,且阻值率需可达18MΩ·cm功能化学工业废水解决。改变解决新工艺始终无法做到新颁布实施的《电商化学工业水污染源物排出规则》(GB39731-2020)特别排出最大限度。 焦化废水营养成分优点和缺点 最主要废弃物物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒度分布0.1-1μm) 非常规请求 :TOC<10μg/L,硼含量的<5μg/L 污水水质性状 :低电阻率(<50μS/cm)但硅有机化合物体型更复杂 处理新工艺步骤流程 自主创新用于"梯级膜剥离+电去化合物"搭配组合工序: 微滤预处里 :1μm瓷砖膜屏蔽广告大颗粒物硅,通量稳定80LMH 铁离子调换树脂胶 :D201大孔硅橡胶确定性吸硅酸大分子 三级RO系统软件 :第一点段利用率60%,第二步段用于高脱硼膜元器件 EDI电去铝离子 :电流值密度计算2A/m²,不断出掉残余物化合物 UV紫外线除臭 :254nm太阳光的UV线用量40mJ/cm² 技术应用工作亮点 发掘专业化阻硅剂(有机质胺类黏结物),廷迟膜生态破坏期限3倍 EDI信息模块特色化流道设计,硅彻底清除率加快至99.8% 线上硅深入测试仪(在测量空间0.1-500μg/L)完成精确管控 加载举措 经再次方在线检测: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼份量从8μg/L降落到0.3μg/L 设备回笼率从原40%改善至68% 膜撤换期限缩短至5年,年运转成本费降35%

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