该晶圆打造厂座落在华北地,核心产生8英尺半导体材料晶圆,平均废水处理工艺尾气排污标量约800吨。考虑到产生步骤中选择海量盐酸做好晶圆蚀刻,使得废水处理工艺中氟化物浓硫酸浓度更是高达200-300mg/L,远超发达国家尾气排污标标(10mg/L一些)。
废水处理组分及源于
废污水最主要的来自五湖四海三种节点:
晶圆蚀刻环节
:含高密度氟化物(HF)、氯化铵及一点血本属
电学机戒拋光(CMP)焦化废水
:含奈米级硅颗粒状、有机肥料络合剂
产品刷洗污水
:含异丙醇、化学需氧量等充分物
治理加工制作工艺 程序流程
选用"有机化学水解+混泥土水解+的深度过滤水"三类加工处理模式:
3级外理
:污泥脱水氯化钙和氢钝化钙,转变成氟化钙奠定,氟化物消除率达85%
两级治理
:加PAC(配位聚铝)和PAM(PP酰胺),除去悬浊液态环境破坏物
三类处理
:可以通过多物质抗逆性炭过滤网和抗逆性炭物理吸附,留水氟化物酸度增强在8mg/L有以下
首要设备包扩:pH电脑自动调准整体、斜管沉淀自己池、板框压滤(污水缺水)。
终极视觉效果
该项目作业5年监测方案数值体现:
氟化物一般质量浓度:7.2mg/L(降到部委原则)
COD清除率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年收售氟化钙副软件约150吨,控制资源性化凭借