半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
该项目视频背景
该半导体设备企业的坐落于长三边形区域,其主要工作895英寸和1295英寸晶圆,日排出废排水量约2000吨。在工作技艺冗杂,废清水中包含的多重难可降解可挥发物和血本属正离子,传统意义正确处理办法仍未够满足急剧标准规定的排出标准规定。
污废水 的成分及因素
废液核心来自于3个关键环节:晶圆裁切废液蕴含很大硅粉和裁切液无残留;化学上机诫增加光泽废液蕴含溶液硅和磨细颗粒肥料;刻蚀清洁工作废液蕴含氟化物、铜亚铁离子等高价属;光刻加工制作工艺 废液则蕴含光阻剂等无机生态破坏物。土质基本特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓硫酸浓度高(200-400mg/L)、浮窗物多且蕴含轻微高价属。
加工处理加工工作流程
采用了"物理化学预进行操作+生物化学进行操作+深层次进行操作"的女子组合流程:
改善池稳定水的硬度容量
水泥混凝土发展除掉悬浮按钮物和氢氧化铁产物
无机化学积累法正规整理氟化物,添加钙盐构成氟化钙积累
油脂水解硝化作用池提高了化工废水可生物化性
了解钝化池分解充分生态破坏物
活力炭树脂吸附塔去长度治理
膜区分软件以保证出液污水水质稳固
争对含铜污废水 同时安装正离子互换系统的,二手回收有实际价值的废金属铜。
最中的效果
投资项目建造后运营比较稳定,留水COD<50mg/L,氟化物浓硫酸氧化还原电位<5mg/L,铜阴离子浓硫酸氧化还原电位<0.3mg/L,数据来依据均远低于国家《电商工業水空气污物废气进行排放标准决定化标准化》(GB 39731-2020)。年年可以减少COD废气进行排放标准决定化约300吨,氟化物废气进行排放标准决定化约50吨,收购铜金属件约2吨,完成了情况划算收益与划算划算收益的共赢。