半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
投资项目原型
该工业机构为世界最前沿的半导体设备首测工业机构,地属珠角形国家,最主要完成中高端基带芯片的小学划片和芯片封装检验。随着位置绿色规范要严格,工业机构判断快速执行污废水 零减排过程中。项目流程于22年开启,202三年6月成立 投入使用,净化处理占比为200吨/日,总加盟约2000万。
工业废水组分及的来源
这项重要性小学划片废水处理工艺具备着低于的特点:
高溶液含量氟化物,首要出于晶圆水刀切割后的进行维护清洁加工过程,氟铁离子溶液含量超过150-200mg/L
包含的nm级硅粉颗粒肥料,孔径多在100-500nm期间
有机的负载较高,COD在500-800mg/L
含微量分析天价属如铅、镉等
导电率高,经常在2000-3000μS/cm
鑫霖环保设计的流程
为完成零摆放对方,加工的设计重在要考虑到电镀废水类型收集整理和资源共享回收处理:
废渣区分征集模式
:将含氟焦化废水处理方法与相关焦化废水处理方法分别回收利用
化学物质沉淀物中除氟
:用到二级钙盐悠长岁月中法,做好科学规范悠长岁月中池
层级氧化物操作
:什么是臭氧催化剂的作用钝化吸附难处里无机物
膜精浓系統
:通过DTRO碟管式反覆盖,浸提公倍数为10倍
蒸馏晶体
:MVR机械化蒸气再解压缩化掉器整理浓水
干热整体
:将沉淀盐非常干燥后是 企业副品牌外售
工作效用
软件开机运行数据库表明:
氟化物清掉率>99.9%,溢水氟阴离子<1mg/L
COD总弄掉率>98%,出水出水COD<20mg/L
水网络资源回收分类处理率>95%,仅造成一少部分成果盐
今年废物回收公司高产品质量造纸废水处理水约8万吨
成果盐含量高于工业化的级基准,满足自然无害化充分利用
品牌不止建立了废污水零尾气排放,还经过能源收购 塑造了约80多万元/年的格外收益的。