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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

項目题材 该半导体材料的生产客户隶属于华南沿海地区,关键的生产集成化电路板IC芯片,日污染物出含氟污水约800吨。会因为是时间优质标准规定的提升,同一加工公共设施难以达到氟化物污染物出酸度不高于5mg/L的新让,客户投资项目1700万元再建专业含氟污水加工体统。 废水处理成分表及收入 废水处理工艺关键种类于IC芯片研发步骤中的刻蚀工步和进行维护清洁工步,关键被污染的物也包括: 氟化合物氧浓度:300-800mg/L pH值:2- 包含的几瓶硅酸盐、磷酸 微量分析天价属如铜、镍等 处理方法环节 主要采用"预操作+无机化学悠长岁月中+深度的操作"三人组合工艺技术: 改善池:均等化土质用水量,设制pH迅雷在线评估 第一表现池:污泥脱水氢腐蚀钙,把控pH至7-8,养成氟化钙乳浊液 第一放置物池:放置物拆分氟化钙污水 三级反应迟钝池:加药氯化钙和汇聚氯化铝,进一次洗去残存氟阳离子 二级滤渣池:二级滤渣破乳 砂滤控制系统:除掉飘浮物 活力性炭吸:快速清理有机化学物和轻微高价属 工业废水操作系统:板框压滤脱干,工业废水含水量率下降60%下面 之后效用 设备执行安全稳定后,出水量水质监测: 氟阳离子质量浓度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 巨资属纯度均不超查出限 完完全全具备《电子设备产业水环境工业废气污染物规范标准规范标准》(GB39731-2020)规定,年变少氟化物污染物规范标准约180吨。

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